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當前位置:首頁產品中心材料樣品檢測真空加熱腔KT-Z1604T氣敏材料測試真空加熱腔

氣敏材料測試真空加熱腔

產品簡介

氣敏材料測試真空加熱腔體主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

產品型號:KT-Z1604T
更新時間:2025-06-19
廠商性質:生產廠家
訪問量:2883
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品牌鄭科探

    氣敏材料測試真空加熱腔主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

   該氣敏材料測試真空加熱腔的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節,其中X方向調節范圍:030mmy方向調節范圍:013mmz方向調節范圍:013mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測。





腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

內腔體尺寸

φ140x180

加熱臺材質

304不銹鋼

觀察窗尺寸

φ75

加熱臺尺寸

50x50

加熱臺溫度

室溫-350℃可調

加熱臺溫控誤差

±1℃

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口

KF25

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

進氣閥門

高精密針閥

抽氣閥門

KF25真空擋板閥

壓力表

機械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號電極

4個

探針數量

4個

探針材質

φ1.5鎢針   其他材質可選

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.1MM

Y軸移動行程

13MM    ±6.5mm

Y軸控制精度

≤0.05MM

Z軸移動行程

13mm   ±6.5mm

Z軸控制精度

≤0.05MM

信號電極

電極芯

1芯

電極引出接頭

BNC母頭

電極引出線

銅網信號屏蔽線

BNC引出接頭

X4

額定電流

≤5A

額定電壓

≤220V

電極芯直徑

φ1mm

接觸電阻

≤5MΩ

絕緣電阻

≥1000 MΩ

外殼接地

電子顯微鏡

電子顯微鏡根據客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通



做氣體傳感器的客戶可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統



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